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【關(guān)于管式爐特征的介紹】
【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用較為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
管式電爐由加熱爐本體和余熱回收系統(tǒng)組成,管式加熱爐爐體內(nèi)設(shè)置有煙囪檔板,加熱爐本體于煙囪檔板下方設(shè)置有高溫?zé)煔獬隹?,余熱回收系統(tǒng)包括空氣預(yù)熱器,其特征在于:空氣預(yù)熱器由非冷凝式空氣預(yù)熱器和冷凝式空氣預(yù)熱器兩段組成。
管式電阻爐的結(jié)構(gòu):管式電阻爐外形呈一橫置的圓柱體,它安置于由薄鋼板制成的底座上。爐殼用薄鋼板圈焊而成,工作室為碳化硅或氧化鋁耐火材料制成的管形爐膛,爐膛外表面制有螺旋形的單絲槽,鐵鉻鋁合金絲繞于絲槽內(nèi)。爐膛兩端用耐火材料制成的爐圈固定于爐蓋上。
爐膛與爐殼之間用硅酸鋁耐火纖維制品等材料砌筑為保溫層。管式電阻爐的應(yīng)用范圍:管式電阻爐供實驗室、工礦企業(yè)、科研等單位作化學(xué)分析、物理測定及熱電偶檢定等加熱用。單管定碳爐以硅碳棒為加熱元件,用于分析、測定普通鋼或合金鋼中含碳及硫量時加熱用。
本系列管式電阻爐為周期作業(yè)式電爐,可供工礦企業(yè)、科研等單位、實驗室和車間作化學(xué)分析、物理測定和熱電偶鑒定等加熱之用。
管式電爐的使用方法:電爐操作工應(yīng)具備國家相應(yīng)電氣設(shè)備操作資格,并熟讀本電窯隨機儀表說明書等技術(shù)文件!用戶開關(guān)板給電爐送電,此時程序表得電,按溫度儀表說明書設(shè)定儀表(如P、I、D參數(shù)),按工藝要求編制加熱程序,打開加熱旋鈕,使加熱功率到達6KW。
加熱功率可按下式計算:加熱功率=儀表電壓×儀表電流正常加熱電流約為:22A,加熱電壓約為:220V。加熱停止:程序溫度結(jié)束后,執(zhí)行時間=0段程序,加熱結(jié)束。將停止按扭旋至關(guān)位。分斷用戶開關(guān)。
1.程序設(shè)定溫度不得高于電爐參數(shù)溫度。
2.電爐工作時,不得打開爐門。取產(chǎn)品時,應(yīng)等到爐溫100℃以下。
3.升溫加熱時,加熱功率不得超過6KW,否則將損傷加熱元件。
管式電阻爐的安全使用:在關(guān)鍵部位安裝有聲、光警報裝置和安全聯(lián)鎖保護裝置,確保安全,其設(shè)備安全設(shè)施達到國家規(guī)定的安全標(biāo)準(zhǔn),包括:
(1)超溫斷偶報警及保護;充氣異常;接地保護;短路保護等。
(2)爐蓋關(guān)緊、真空度滿足要求,方可啟動加熱。針對實驗室的使用要求,裝卸料采用間歇式手動裝、卸料。裝料時將料盒放置在料盆支架上,打開并取出爐管一端的密封端蓋,放入帶料盒的料盒支架,再將密封端蓋安裝在爐管法蘭上并擰緊卡箍螺栓。然后通人工藝氣氛,直到爐管內(nèi)氧含量達到工藝要求時進行升溫?zé)Y(jié)。
產(chǎn)品燒結(jié)工藝完成后,應(yīng)繼續(xù)通人小量的工藝氣氛并進行降溫,直到爐內(nèi)溫度低于工藝要求時,方可打開爐管密封端蓋取出產(chǎn)品。
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